Handbook of plasma processing technology

Materias

• Plasma engineering
• Semiconductors
• Etching
• Plasma etching

Ediciones (2)

• Handbook of Plasma Processing Technology (1990)

  Elsevier Science & Technology Books · inglés · ISBN 9780815517641

• Handbook of Plasma Processing Technology (1990)

  Noyes Publications · inglés · ISBN 9780815512202

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