Handbook of Plasma Processing Technology
Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions
Edición de la obra Handbook of plasma processing technology
| Autor | Stephen M. Rossnagel, William D. Westwood, Jerome J. Cuomo |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 1990 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780815517641 |
| Número de Cutter | R837h |