Handbook of Plasma Processing Technology
Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
Edición de la obra Handbook of plasma processing technology
| Autor | Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood |
|---|---|
| Editorial | Noyes Publications |
| Fecha de publicación | January 1, 1990 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 523 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780815512202 |
| ISBN-10 | 0815512201 |
| Número de Cutter |