
Silicon micromachining
de M. Elwenspoek, M. Elwenspoek, H. V. Jansen · Publicada por primera vez en 1998

de M. Elwenspoek, M. Elwenspoek, H. V. Jansen · Publicada por primera vez en 1998
Cambridge University Press · inglés · ISBN 9780521590549
Cambridge University Press · inglés