Silicon micromachining
Edición de la obra Silicon micromachining
| Autor | M. Elwenspoek |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Lugar | Cambridge, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 405 |
| ISBN-10 | 052159054X |
| OCLC | 37955505 |
| LCCN | 97043732 |
| Serie | Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering -- 7 |
| Número de Cutter | E52s |