Silicon Micromachining (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering)
Edición de la obra Silicon micromachining
| Autor | M. Elwenspoek, H. V. Jansen |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | May 13, 1999 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 420 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780521590549 |
| ISBN-10 | 052159054X |
| Número de Cutter | E52s |