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Plasma processing for VLSI

Tapa de Plasma processing for VLSI

Número de Cutter-SanbornE35pEntrada «Ein» → 35 · marca de obra “p”

Plasma processing for VLSI

de Norman G. Einspruch, Dale M. Brown

Materias

Plasma (Ionized gases)
Very large scale integration
Industrial applications
Integrated circuits

Ediciones (2)

Plasma Processing for VLSI (2014)
Elsevier Science & Technology Books · inglés · ISBN 9781483217758
Plasma processing for VLSI (1984)
Academic Press · inglés

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