Plasma processing for VLSI
Edición de la obra Plasma processing for VLSI
| Autor | Norman G. Einspruch, Dale M. Brown |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 1984 |
| Lugar | New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 527 |
| ISBN-10 | 0122341082 |
| LCCN | 83022351 |
| Serie | VLSI electronics ; · v. 8 |
| Número de Cutter | E35p |