Plasma Processing for VLSI
Edición de la obra Plasma processing for VLSI
| Autor | Norman G. Einspruch, Dale M. Brown |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781483217758 |
| Número de Cutter | E35p |
Edición de la obra Plasma processing for VLSI
| Autor | Norman G. Einspruch, Dale M. Brown |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781483217758 |
| Número de Cutter | E35p |