Microcircuit engineering 91
de International Conference on Microlithography (1991 Rome, Italy), A. Tucciarone, A. Paoletti · Publicada por primera vez en 1992
de International Conference on Microlithography (1991 Rome, Italy), A. Tucciarone, A. Paoletti · Publicada por primera vez en 1992
Elsevier · inglés
Elsevier Science Publishing Company · inglés · ISBN 9780444895097