Microcircuit engineering 91
Edición de la obra Microcircuit engineering 91
| Autor | International Conference on Microlithography (1991 Rome, Italy) |
|---|---|
| Editorial | Elsevier |
| Fecha de publicación | 1992 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 581 |
| ISBN-10 | 0444895094 |
| Número de Cutter | I61m |