Microcircuit Engineering 91
Proceedings of the International Conference on Microlithography September 17-19, 1991 Rome, Italy
Edición de la obra Microcircuit engineering 91
| Autor | A. Tucciarone, A. Paoletti |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science Publishing Company |
| Fecha de publicación | March 1992 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 582 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780444895097 |
| ISBN-10 | 0444895094 |
| OCLC | 27013589 |
| LCCN | 92223247 |