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Field guide to optical lithography

Tapa de Field guide to optical lithography

Número de Cutter-SanbornM153fEntrada «Mack» → 153 · marca de obra “f”

Field guide to optical lithography

de Chris A. Mack

Materias

Design and construction
Integrated circuits
Microlithography

Ediciones (2)

Field guide to optical lithography (2006)
SPIE Press · inglés
Field Guide to Optical Lithography (2006)
SPIE Publications · ISBN 9780819462077

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