Field Guide to Optical Lithography
Edición de la obra Field guide to optical lithography
| Autor | Chris A. Mack |
|---|---|
| Editorial | SPIE Publications |
| Fecha de publicación | Jan 24, 2006 |
| Páginas | 136 |
| Formato | spiral-bound |
| ISBN-13 | 9780819462077 |
| ISBN-10 | 0819462071 |
| LCCN | 2005034584 |
| Número de Cutter | M153f |