Enabling technology for MEMS and nanodevices
de Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Jan G. Korvink
de Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Jan G. Korvink
Wiley-VCH Verlag GmbH · inglés · ISBN 9783527334988
Wiley & Sons, Incorporated, John · inglés · ISBN 9783527675043
Wiley & Sons, Limited, John · inglés · ISBN 9783527616701
Wiley-VCH · inglés