Enabling Technology for MEMS and Nanodevices
Advanced Micro and Nanosystems
Edición de la obra Enabling technology for MEMS and nanodevices
| Autor | Oliver Brand, Henry Baltes, Gary K. Fedder, J. G. Korvink, C. Hierold |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH Verlag GmbH |
Advanced Micro and Nanosystems
Edición de la obra Enabling technology for MEMS and nanodevices
| Autor | Oliver Brand, Henry Baltes, Gary K. Fedder, J. G. Korvink, C. Hierold |
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| Editorial | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Fecha de publicación |
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| 2013 |
| Idioma | inglés |
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| Páginas | 439 |
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| ISBN-13 | 9783527334988 |
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| Número de Cutter | B817e |
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