Enabling technology for MEMS and nanodevices
Edición de la obra Enabling technology for MEMS and nanodevices
| Autor | Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Jan G. Korvink |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH |
| Fecha de publicación | 2004 |
| Lugar | Weinheim, Germany |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 427 |
| ISBN-10 | 352730746X |
| Serie | Advanced micro & nanosystems -- v. 1 |