Characterization and Metrology for Ulsi Technology
1998 International Conference (AIP Conference Proceedings, Vol. 449)
Edición de la obra Characterization and metrology for ULSI technology
| Autor | David G. Seiler |
|---|---|
| Editorial | American Institute of Physics |
| Fecha de publicación | December 14, 1998 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 960 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781563967535 |
| ISBN-10 | 1563967537 |
| Número de Cutter | S461c |