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Principles of optical lithography

PPrinciples of optical lithography

Número de Cutter-SanbornM153pEntrada «Mack» → 153 · marca de obra “p”

Principles of optical lithography

de Chris A. Mack

Materias

Design and construction
Industrial applications
Integrated circuits
Microlithography

Ediciones (1)

Principles of optical lithography (2007)
Wiley · inglés · ISBN 9780470018934

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