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Principles of optical lithography

Name: Principles of optical lithography
ISBN: 9780470018934

the science of microfabrication

Autor	Chris A. Mack
Editorial	Wiley
Fecha de publicación	2007
Lugar	Chichester, West Sussex, England, Hoboken, NJ, USA
Idioma	inglés
ISBN-13	9780470018934, 9780470727300
LCCN	2007044548
Número de Cutter	`M153p`

Principles of optical lithography (2007) — ISBN 9780470018934 | Cutter Number