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Microlithography

Tapa de Microlithography

Número de Cutter-SanbornE46mEntrada «Elli» → 46 · marca de obra “m”

Microlithography

de David J. Elliott · Publicada por primera vez en 1986

xix, 378 pages : 24 cm

Materias

Very large scale integration
Design and construction
Microlithography
Integrated circuits
Photoresists
Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction

Ediciones (1)

Microlithography (1986)
McGraw-Hill · inglés

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