Microlithography
process technology for IC fabrication
Edición de la obra Microlithography
| Autor | David J. Elliott |
|---|---|
| Editorial | McGraw-Hill |
| Fecha de publicación | 1986 |
| Lugar | New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 378 |
| ISBN-10 | 0070193045 |
| OCLC | 12418734 |
| LCCN | 85018196 |
| Número de Cutter | E46m |
xix, 378 pages : 24 cm