MEMS/MOEMS components and their applications IV
de Reza Ghodssi, Srinivas A. Tadigadapa
Materias
Ediciones (1)
- MEMS/MOEMS components and their applications IV (2007)
SPIE · inglés · ISBN 9780819465771
de Reza Ghodssi, Srinivas A. Tadigadapa
SPIE · inglés · ISBN 9780819465771