MEMSde Mohamed Gad-el-HakMateriasMicroelectromechanical systemsMicrofabricationDesign and constructionNanotechnologyMicroelectronicsEdiciones (1)MEMS (2005)CRC/Taylor & Francis Group · inglésMás obras de Mohamed Gad-el-HakThe MEMS handbookThe MEMS handbookThe MEMS handbookMEMS