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Mechanical microsensors

Tapa de Mechanical microsensors

Número de Cutter-SanbornE52mEntrada «Elw» → 52 · marca de obra “m”

Mechanical microsensors

de M. Elwenspoek, R. Wiegerink

Materias

Silicon
Microelectromechanical systems
Transducers
Micromachining
Detectors
Design and construction
Microelectronics
Micromechanics
Machining
Detectors--design and construction

Mechanical microsensors — M. Elwenspoek, R. Wiegerink | Cutter Number

Microelectromechanical systems--design and construction

Tk7875 .e49 2001

Ediciones (3)

Mechanical Microsensors (2010)
Springer · ISBN 9783642087066
Mechanical Microsensors (Microtechnology and MEMS) (2001)
Springer · inglés · ISBN 9783540675822
Mechanical Microsensors (2000)
Island Press · inglés · ISBN 9783662043226

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1998

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