Ion implantationde E. Rimini · Publicada por primera vez en 1995MateriasSemiconductor dopingSemiconductorsIon implantationDesign and constructionEdiciones (1)Ion implantation (1995)Kluwer Academic Publishers · inglésMás obras de E. RiminiIon beam handbook for material analysisBBeam Processing and Laser ChemistryBeam Processing and Laser ChemistryIIon Implantation Technology - 94Ion Implantation Technology - 94