Ion implantation
basics to device fabrication
Edición de la obra Ion implantation
| Autor | E. Rimini |
|---|---|
| Editorial | Kluwer Academic Publishers |
| Fecha de publicación | 1995 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 393 |
| ISBN-10 | 0792395204 |
| OCLC | 31171598 |
| LCCN | 94034251 |
| Serie | The Kluwer international series in engineering and computer science ; · SECS 293. · Electronic materials, science and technology |
| Número de Cutter | R576i |