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Atomic layer deposition for nanotechnology

AAtomic layer deposition for nanotechnology

Número de Cutter-SanbornS553aEntrada «Sherm» → 553 · marca de obra “a”

Atomic layer deposition for nanotechnology

de Arthur Sherman

Materias

Chemical vapor deposition
Epitaxy
Microelectronics
Nanotechnology
Atomic layer deposition

Ediciones (1)

Atomic layer deposition for nanotechnology (2008)
Ivoryton Press · inglés · ISBN 9780981466347

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