Atomic layer deposition for nanotechnology
an enabling process for nanotechnology fabrication
Edición de la obra Atomic layer deposition for nanotechnology
| Autor | Arthur Sherman |
|---|---|
| Editorial | Ivoryton Press |
| Fecha de publicación | 2008 |
| Lugar | Ivoryton, Conn |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 239 |
| ISBN-13 | 9780981466347 |
| OCLC | 236117849 |
| LCCN | 2008900091 |
| Número de Cutter | S553a |