Surface scattering and diffraction for advanced metrology
1 August 2001, San Diego, USA
Edición de la obra Surface scattering and diffraction for advanced metrology
| Autor | Zu-Han Gu, A. A. Maradudin |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 164 |
| ISBN-10 | 0819441619 |
| OCLC | 48545937 |
| LCCN | 2002265497 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4447 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |