Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs (Cambridge Studies in Semiconductor Physics & Microelectronic Engineering)
Edición de la obra Sub-half-micron lithography for ULSIs
| Autor | Shinji Matsui |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | June 26, 2000 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 342 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780521570800 |
| ISBN-10 | 0521570808 |
| Número de Cutter | M434s |