Sub-half-micron lithography for ULSIs
Edición de la obra Sub-half-micron lithography for ULSIs
| Autor | Shinji Matsui |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Cambridge, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 323 |
| ISBN-10 | 0521570808 |
| LCCN | 99013558 |
| Número de Cutter | M434s |