PVD for Microelectronics
Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing
Edición de la obra PVD for Microelectronics
| Autor | Stephen M. Rossnagel, Ronald Powell, Abraham Ulman |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780080542928 |
| Número de Cutter | R837p |