Optical micro- and nanometrology in microsystems technology
5-7 April 2006, Strasbourg, France
Edición de la obra Optical Micro and Nanometrology in Microsystems Technology
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2006 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 0819462446 |
| OCLC | 70225387 |
| Serie | Proceedings of SPIE -- v. 6188 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering -- v. 6188. |
| Número de Cutter | G666o |