Optical Micro and Nanometrology in Microsystems Technology
Edición de la obra Optical Micro and Nanometrology in Microsystems Technology
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | Society of Photo Optical |
| Fecha de publicación | April 2006 |
| Idioma | inglés |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780819462442 |
| ISBN-10 | 0819462446 |
| LCCN | 2007271570 |
| Número de Cutter | G666o |