MOEMS and miniaturized systems
18-20 September 2000, Santa Clara, USA
Edición de la obra MOEMS and Miniaturized Systems
| Autor | M. Edward Motamedi |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 412 |
| ISBN-10 | 0819438340 |
| OCLC | 45635003 |
| LCCN | 2001267485 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4178 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |