Microsystems metrology and inspection
15-16 June 1999, Munich, Germany
Edición de la obra Microsystems metrology and inspection
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 186 |
| ISBN-10 | 081943311X |
| OCLC | 49843983 |
| LCCN | 00708945 |
| Serie | Proceedings EurOpt series · SPIE proceedings series, · v. 3825 |
| Número de Cutter |