Microsystems engineering
metrology and inspection : 20-21 June 2001, Munich, Germany
Edición de la obra Microsystems engineering
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 176 |
| ISBN-10 | 0819440957 |
| OCLC | 48781271 |
| LCCN | 2002265278 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4400 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |