Microsystems engineering
metrology and inspection III : 23-25 June, 2003, Munich, Germany
Edición de la obra Microsystems engineering
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 210 |
| ISBN-10 | 0819450154 |
| OCLC | 53244711 |
| LCCN | 2004267084 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 5145 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |