Microsystems engineering
metrology and inspection III : 23-25 June 2003, Munich, Germany
Edición de la obra Microsystems engineering
| Autor | Christophe Gorecki |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2004 |
| Lugar | Bellingham, WA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 210 |
| ISBN-10 | 0819450154 |
| Número de Cutter | G666m |