Micromachined devices and components V
20-21 September 1999, Santa Clara, California
Edición de la obra Micromachined devices and components V
| Autor | Eric Peeters |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 304 |
| ISBN-10 | 0819434736 |
| OCLC | 42905417 |
| LCCN | 00267603 |
| Serie | SPIE proceedings series ; v. 3876 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; · v. 3876. |
| Número de Cutter |