Microelectronic structures and MEMS for optical processing III
29-30 September, 1997, Austin, Texas
Edición de la obra Microelectronic structures and MEMS for optical processing III
| Autor | M. Edward Motamedi, Hans Peter Herzig |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1997 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 214 |
| ISBN-10 | 081942658X |
| OCLC | 37706112 |
| LCCN | 98122103 |
| Serie |