Laser Microfabrication
Thin Film Processes and Lithography
Edición de la obra Laser microfabrication
| Autor | Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 587 |
| ISBN-13 | 9780080918020 |
| Número de Cutter | E33l |