Laser microfabrication
thin film processes and lithography
Edición de la obra Laser microfabrication
| Autor | Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 587 |
| ISBN-10 | 0122334302 |
| LCCN | 88024215 |
| Número de Cutter | E33l |