Handbook of plasma processing technology
fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
Edición de la obra Handbook of plasma processing technology
| Autor | Stephen M. Rossnagel, William D. Westwood |
|---|---|
| Editorial | Noyes Publications |
| Fecha de publicación | 1990 |
| Lugar | Park Ridge, N.J., U.S.A |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 523 |
| ISBN-10 | 0815512201 |
| OCLC | 49708585, 20265048 |
| LCCN | 89022834 |
| Serie |