Handbook of ion beam processing technology
principles, deposition, film modification, and synthesis
Edición de la obra Handbook of ion beam processing technology
| Autor | J. J. Cuomo, Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman |
|---|---|
| Editorial | Noyes Publications |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Westwood, N.J |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 438 |
| ISBN-13 | 9781591249795 |
| ISBN-10 | 1591249791 |
| OCLC |