Handbook of Ion Beam Processing Technology
Principles, Deposition, Film Modification and Synthesis
Edición de la obra Handbook of ion beam processing technology
| Autor | Jerome J. Cuomo, Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780815517573 |
| Número de Cutter | C973h |