Handbook of ion beam processing technology
principles, deposition, film modification, and synthesis
Edición de la obra Handbook of ion beam processing technology
| Autor | Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman |
|---|---|
| Editorial | Noyes Publications |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Park Ridge, N.J., U.S.A |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 438 |
| ISBN-10 | 081551199X |
| OCLC | 18907337 |
| LCCN | 88038244 |
| Número de Cutter |