Characterization and metrology for ULSI technology 2000
International Conference,Gaithersburg, Maryland, 26-29, June 2000
Edición de la obra Characterization and metrology for ULSI technology, 2000
| Autor | David G. Seiler |
|---|---|
| Editorial | American Institute of Physics |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Melville, N.Y |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 156396967X |
| LCCN | 00111547 |
| Serie | AIP Conference Proceedings -- vol. 550 · AIP conference proceedings -- no. 550. |
| Número de Cutter | S461c |