Characterization and Metrology for ULSI Technology 2000
International Conference (AIP Conference Proceedings)
Edición de la obra Characterization and metrology for ULSI technology, 2000
| Autor | David G. Seiler |
|---|---|
| Editorial | American Institute of Physics |
| Fecha de publicación | March 1, 2001 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 708 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781563969676 |
| ISBN-10 | 156396967X |
| OCLC | 46652318 |
| LCCN | 00111547 |
| Número de Cutter |